スーパーITO:原子レベルで平坦な透明”超”高導電性エピタキシャルITO薄膜
Super ITO: Transparent “Highly” Conducting Epitaxial ITO Film with Atomically Flat Surface
[ Appl. Phys. Lett. 2000/ J. Appl. Phys. 2002/ Adv. Mater. 2003/ Adv. Mater. 2004 ]
液晶やプラズマディスプレイの透明電極として応用されているITOをYSZ単結晶基板上にヘテロエピタキシャル成長させました。ITO薄膜表面は高さ0.3 nmのステップとテラスのみからなる超平坦面です。結晶粒界などの欠陥が少ないため導電性が高く(約13,000 S/cm:世界最高)、Snが綺麗に固溶しているため可視光領域で完全に透明です。透明酸化物半導体や有機半導体デバイス用の透明電極としての応用を期待しています。(ERATO細野透明電子活性プロジェクト / HOYA株式会社)